1.清洗石英管的整個(gè)過程應(yīng)嚴(yán)格按照擴(kuò)散工序相關(guān)工藝安全標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行。

　　2.清洗槽內(nèi)如果存有以前用過的氫氟酸溶液，溶液不臟的情況下可以再往里面加10瓶氫氟酸（由生產(chǎn)人員調(diào)配）；如果原有的氫氟酸溶液很臟，則應(yīng)全部排空并洗凈槽體，然后通知生產(chǎn)人員配液；如果槽內(nèi)無以往剩下的氫氟酸溶液，洗凈槽體后請生產(chǎn)人員配液。

　　3.清洗人員必須佩戴好防護(hù)眼鏡和防酸手套，然后將備用石英管放入石英管清洗機(jī)靠近里面的槽內(nèi)，管口朝向制絨間，管尾指向擴(kuò)散爐所在方向。拉下防護(hù)門，將酸槽清洗時(shí)間設(shè)定為30min，按下控制面板中"酸槽啟動(dòng)"按鈕。

　　4.酸槽清洗時(shí)間的設(shè)定：

　　新的石英管只需清洗30min左右。如果是用過的石英管，應(yīng)以將管內(nèi)壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時(shí)間為準(zhǔn)。清洗用過的管子，有的要1到2天時(shí)間。在酸槽未啟動(dòng)的情況下，應(yīng)每隔2個(gè)小時(shí)將石英管旋轉(zhuǎn)180°。

　　5.清洗人員戴好防護(hù)眼鏡和手套，將石英管從酸槽取出，輕放入水槽。將水槽內(nèi)的水排空后用水槍沖洗石英管內(nèi)外壁約5分鐘。沖洗石英管內(nèi)壁時(shí)不要按下"水槽啟動(dòng)"按鈕，如果已經(jīng)按下了應(yīng)再按下"水槽結(jié)束"按鈕。然后把水槍拉到石英管管口，從管口向管尾方向沖洗管內(nèi)壁。沖洗時(shí)應(yīng)仔細(xì)認(rèn)真，不要有殘留未沖到的區(qū)域。2分鐘后，將石英管旋轉(zhuǎn)180°，再用同樣方式?jīng)_洗2分鐘。

　　6.將純水注入水槽，水位以能沒過石英管尾部的中間通氣管為準(zhǔn)。拉下防護(hù)門，然后將水槽清洗時(shí)間設(shè)定為30min，按下"水槽啟動(dòng)"按鈕。

　　7.重復(fù)第6步，再清洗一遍。

　　8.水槽結(jié)束后，將水槽內(nèi)的水排空。然后，參照上面第5步的方法用水槍沖洗石英管內(nèi)/外壁。主要沖洗內(nèi)壁。約5min后用水槍沖洗管尾的四個(gè)小通氣管，同樣是管內(nèi)壁。沖洗2分鐘后再繼續(xù)從管口方向沖洗。此步清洗時(shí)間應(yīng)不少于15min，以管內(nèi)外壁無顆粒狀磷化物殘留為清洗干凈的標(biāo)志。

　　9.清洗好后將石英管放到凈化間的指定位置，下面墊上專用的泡沫。

　　10.將管口和尾管用專用鋁箔密封。